Газовые баллоны из алюминиевого сплава НЕТЦ: обеспечение максимальной чистоты для хранения и транспортировки азота высокой чистоты электронного класса

В высокотехнологичных электронных отраслях, таких как производство полупроводников, дисплеев и фотоэлектрических элементов, азот высокой чистоты — это гораздо больше, чем просто газ; это газ, жизненно необходимый для поддержания производственной среды и обеспечения выхода годных изделий. Он используется не только для продувки трубопроводов и камер, но и играет важнейшую роль на основных этапах производства. Перед химическим осаждением из газовой фазы (сердечно-сосудистые заболевания) азот высокой чистоты играет ключевую роль в очистке реакционных камер и предотвращении перекрестного загрязнения. После ионной имплантации он служит защитной атмосферой при отжиге, предотвращая окисление пластин при высоких температурах. В процессе литографии он защищает прецизионные линзовые сборки от кислорода и влаги. Успех этих применений полностью зависит от поддержания постоянной чистоты азота на месте использования.

Газовые баллоны из алюминиевого сплава НЕТЦ, специально разработанные для газов высокой чистоты и газов электронного класса, разработаны для удовлетворения этих экстремальных требований. Их превосходные физические свойства и передовые технологии обработки внутренней поверхности в совокупности образуют надежную защиту, гарантируя нулевое загрязнение при хранении и транспортировке азота сверхвысокой чистоты.

Абсолютная внутренняя чистота: сохранение чистоты газа с самого начала
Продувка электронного класса и защитный азот требуют строгого контроля за содержанием частиц и влаги. В баллонах из алюминиевого сплава НЕТЦ используется запатентованная технология обработки внутренней поверхности, обеспечивающая:

Исключительно низкий уровень содержания твердых частиц: обеспечение внутренней чистоты. Специально отполированная и пассивированная внутренняя поверхность отличается чрезвычайно низкой шероховатостью, что существенно снижает высвобождение и налипание внутренних частиц. Это гарантирует соответствие подаваемого азота строгим стандартам контроля содержания твердых частиц.

Чрезвычайно низкое содержание остаточной влаги: гладкая, плотная внутренняя поверхность не впитывает влагу. В сочетании с тщательной предпродажной сушкой и очисткой это обеспечивает очень низкую точку росы по влаге в баллонах при поставке, что является существенным преимуществом для сохранения сухих характеристик азота высокой чистоты.

Превосходная стабильность материала: обеспечение нулевого уровня интерактивного загрязнения
В отличие от стандартных контейнеров, баллоны НЕТЦ из алюминиевого сплава разработаны с учетом совместимости материалов с газами высокой чистоты:

Отсутствие межкристаллитной коррозии: алюминиевый сплав принципиально исключает риск межкристаллитной коррозии, возможной в стальных цилиндрах, предотвращая загрязнение металлическими ионами из побочных продуктов коррозии. Это критически важно для защиты пластин в процессе производства.

Надёжная устойчивость к давлению и безопасность: азот высокой чистоты обычно хранится под высоким давлением (от 150 до 200 бар) для повышения эффективности. Баллоны НЕТЦ из алюминиевого сплава разработаны и изготовлены в строгом соответствии с международными стандартами, такими как ДОТ 3AL и CE ИСО 7866. Они обладают превосходной усталостной прочностью, выдерживают многократную заправку и длительную эксплуатацию под высоким давлением.